[发明专利]真空调压系统

摘要

本发明提供一种真空调压系统，其中，通过阀部件来开闭阀座的阀主体部具有：流体压驱动部，其具有开闭操作阀部件的受压部件（活塞）；阀开度调节部，其设定阀部件的开度；电磁阀装置，向流体压驱动部给排先导流体；和控制器，其控制阀部件的开度。控制器具有以使真空腔成为规定的目标压力的方式通过受压部件的位置控制来控制阀部件的开度的功能，另外，还具有以下功能：监视由压力传感器得到的真空腔内的当前压力值和目标压力值之差，将该差脱离所设定的允许范围的情况作为异常进行报告。

主权项

一种真空调压系统，通过在阀壳内具有阀主体部和流体压驱动部而构成真空调压用阀，上述阀壳在用于连接真空腔和真空泵之间的流路中设置有阀座，所述阀主体部具有：阀部件，其与上述阀座接触分离来开闭上述流路；阀轴，其与该阀部件连结，贯通上述阀壳，该阀轴沿其轴线方向延伸并且前端到达流体压驱动部；和复位弹簧，其将上述阀部件朝向阀座的关闭方向施力，所述流体压驱动部将安装在上述阀轴的前端的受压部件设置在受压室中，并在该受压室中设置有用于给排先导流体的先导端口，上述受压室作用有开放上述阀部件的方向的流体压，在上述真空调压用阀上连接有向受压室的先导端口给排先导流体的电磁阀装置，并且附加设置有控制器，该控制器基于检测上述阀部件的位置的位置传感器的输出信号、由真空腔的压力传感器检测的真空压力的输出信号、以及从外部输入的控制指令，控制上述电磁阀装置的驱动，该真空调压系统的特征在于，在上述控制器中保存有通过上述真空泵进行排气的真空腔的压力设定值及抽真空的速度信息，使该控制器具有以下功能：在排气控制的各控制周期中，通过上述受压部件的位置控制对阀部件的开度进行反馈控制，以使得上述真空腔成为基于上述压力设定值及抽真空的速度信息所得到的目标压力，并且赋予该控制器以下功能：在上述各控制周期中，检测由上述压力传感器得到的真空腔内的当前压力值和目标压力值之差，将其脱离对于该目标压力值设定的允许范围的情况作为异常进行报告。