[发明专利]真空调压系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空调压系统，其用于在物理化学机械等中化学反应用的真空腔的减压等。

背景技术

例如，在半导体的制造装置中，物理化学处理在真空腔内进行，此时，对于连结对真空腔减压的真空泵和该真空腔的流路的开闭，采用真空调压用阀，通常，在真空腔内，为抑制颗粒飞溅，通过控制器逐渐开放地控制该阀的开度，从而形成真空调压系统。

该真空调压用阀例如专利文献1公开的那样，阀壳在连结用于与真空腔和真空泵连接的两个主端口的流路中设置有阀座，在该阀壳内具有阀主体部和流体压驱动部，所述阀主体部具有：阀部件，其与上述阀座接触分离来开闭上述流路；阀轴，其与该阀部件连结，贯通阀壳，该阀轴沿其轴线方向延伸并且前端到达流体压驱动部；复位弹簧，其将上述阀部件朝向阀座的关闭方向施力，所述流体压驱动部将安装在上述阀轴的前端的受压部件设置在受压室内，并连接有用于向该受压室给排先导流体的先导端口，上述受压室向上述阀部件作用有开放其的方向的先导流体压，通过上述控制器进行上述受压部件的位置控制来调整上述阀部件的阀开度，以缓慢的速度使真空腔内的真空压力降低地进行调整。

但是，在这种真空调压系统中，存在真空腔以外的真空系统中的泄漏或配管的堵塞等的异常的情况下，不能以被控制的规定的阀开度维持所期望的排气速度，该情况下，基于检测真空腔的压力的压力传感器的输出与来自外部的设定压力或其排气速度变化等的控制指令的信号之间的比较，在上述控制器中，向进一步打开阀开度的方向进行反馈控制，但当存在上述异常时，真空腔的压力不降低，从而陷于如下这种状态：通过上述反馈控制，阀开度逐渐达到最大，即使成为全开状态，也不能达到所期望的排气速度。而且，该状态是只要不将任意的异常检测构件设置于控制器，就不能早期地检测系统的异常，若真空调压用阀在全开状态下通过真空泵持续吸引来自腔的成为高温的气体时，则配管部损伤，或者进而真空泵被破坏，系统的恢复需要很长的时间和很大的费用。

为避免这样的问题，在专利文献2公开的真空压力控制系统中，阀的开度达到被设定的规定的开度时，若设置在真空容器内的压力传感器的输出比预先设定的规定值大，则判断为该真空容器的密闭状态发生异常，能够早期地检测系统的异常。

但是，该专利文献2记载的由真空压力控制系统进行的判断是阀的开度达到被设定的精准定位的开度时的正常或异常的判断，不能判断排气是否持续地正常进行。而且，关于上述精准定位的开度和与其相关的压力值的设定，大多含有经验性的要素，不能简单地设定与其相关的合理值，更不能把握开度随时间的变化。

专利文献1：日本特开2007-146908号公报

专利文献2：日本特开2006-18767号公报

发明内容

本发明的技术课题是提供一种真空调压系统，在控制上述真空调压用阀的开度的控制器中，通过逐次检测真空腔内的当前压力值和目标压力值之差来进行为避免陷入如下状态的异常的检测：即使上述真空调压用阀的阀开度因系统的任何异常而达到全开状态，上述真空腔内也没有达到所需的排气速度的状态，基于此，在判断为在所控制的阀开度下所需的排气速度的维持变得困难的情况下，作为系统存在异常进行报告，能够容易且可靠地报告随时间进行的异常判断。

另外，在上述专利文献1公开的真空调压系统中，与后述的本发明的实施例同样地，在用于对开闭操作阀部件15的流体压驱动部2的活塞16设定阀部件15的开度的阀开度调节部3中，每当使调整部件41的前端与该活塞16相对或抵接时，将电动马达45的旋转转换成直线运动并进行该调整部件41的定位，但此时，通过作用于活塞16的先导空气压抵消复位弹簧23的作用力或作用于阀部件15的基于真空腔内压力的作用力，以始终大致恒定的力使活塞16和调整部件41抵接，由此，作为电动马达能够使用不具有对抗上述作用力的驱动力的小型的马达。