[发明专利]平行光曝光机的机架结构在审

专利信息
申请号: 201310561114.9 申请日: 2013-11-13
公开(公告)号: CN104635425A 公开(公告)日: 2015-05-20
发明(设计)人: 韩懿琰 申请(专利权)人: 无锡新奇特钣金机械有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 代理人: 顾吉云
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及平行光曝光机的机架结构,包括矩形的底座,底座包括底部框架及固定连接在底部框架上的底板,底部框架上设有互相连接的主机机架及工作机架,靠近隔板的两个长立柱内侧四分之一高度处分别连接有第一下球面镜支撑耳,靠近隔板的两个长立柱内侧四分之三高度处分别连接有第一上球面镜支撑耳;位于底座短边上的长立柱的底端内侧分别设有与第一下球面镜支撑耳相配套的第二下球面镜支撑耳,位于底座短边上的长立柱的顶端内侧分别设有与第一上球面镜支撑耳相配套的第二上球面镜支撑耳。本发明的平行光曝光机的机架结构,其有益效果是:结构强度较高,稳定性较高,布局合理,满足了平行光曝光机的需求。
搜索关键词: 平行 曝光 机架 结构
【主权项】:
平行光曝光机的机架结构,包括矩形的底座,其特征在于,所述底座包括底部框架及固定连接在所述底部框架上的底板,所述底部框架上设有互相连接的主机机架及工作机架,所述主机机架与所述工作机架之间设有隔板,所述隔板具有线路孔,所述主架机架包括固定安装在所述底部框架上的四个长立柱,相邻长立柱的顶端分别通过上横梁固定连接,所述工作机架包括固接在所述底部框架上的四个短立柱,其中两个短立柱与所述长立柱固定贴合,相邻短立柱的顶端分别通过连接梁固定连接,位于所述底座长边两侧的连接梁上分别固定设有扶手,位于所述底座长边两侧的长立柱之间固定夹持有台框安装板,所述台框安装板的高度与所述扶手的高度大致相等;靠近所述隔板的两个长立柱内侧四分之一高度处分别连接有第一下球面镜支撑耳,靠近所述隔板的两个长立柱内侧四分之三高度处分别连接有第一上球面镜支撑耳;位于所述底座短边上的长立柱的底端内侧分别设有与所述第一下球面镜支撑耳相配套的第二下球面镜支撑耳,位于所述底座短边上的长立柱的顶端内侧分别设有与所述第一上球面镜支撑耳相配套的第二上球面镜支撑耳。
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