[发明专利]一种检测集成谐振环的谐振波长漂移的方法有效
申请号: | 201310544209.X | 申请日: | 2013-11-06 |
公开(公告)号: | CN103575409A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 郑志强 | 申请(专利权)人: | 宁波屹诺电子科技有限公司 |
主分类号: | G01J9/04 | 分类号: | G01J9/04 |
代理公司: | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人: | 张强 |
地址: | 315202 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种检测集成谐振环的谐振波长漂移的方法,单频激光经过集成谐振环后产生一对具有频率差的激光作为检测光信号,通过检测该检测光信号的相位差来得到谐振波长漂移量。本发明提供的方法采取相位检测的方式,有效的降低了由光源稳定性、与集成芯片之间的光耦合系统的振动等因素所造成的强度噪声,提高检测精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 集成 谐振 波长 漂移 方法 | ||
【主权项】:
一种检测集成谐振环的谐振波长漂移的方法,其特征在于:单频激光(7)首先经过相位调制器(2)后形成原始激光和两个偏光带(8、9),然后通过滤波器(3)和集成谐振环(4)后产生一对具有频率差的激光作为检测光信号,通过检测该检测光信号的相位差来得到谐振环谐振波长的漂移量。
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