[发明专利]石墨烯镀层的制造方法在审
| 申请号： | 201310541119.5 | 申请日： | 2013-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN104109836A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 黄家宏;邱松茂;钟崇仁;吴博雄 | 申请（专利权）人： | 财团法人金属工业研究发展中心 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种石墨烯镀层的制造方法，以溅镀工艺在基材上形成石墨镀层，以及对该石墨镀层进行光刻工艺，以使该石墨镀层薄化成石墨烯层。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 镀层 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨烯镀层的制造方法，其特征在于以溅镀工艺在基材形成石墨镀层，以及对该石墨镀层进行光刻工艺，使该石墨镀层薄化成石墨烯层。
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