[发明专利]一种用于介质内测量薄膜厚度和折射率的装置

摘要

本发明涉及一种用于介质内测量薄膜厚度和折射率的装置，属于光学测量技术领域。自半导体二极管发出的光线经非球面准直透镜准直后，以一定的角度入射到衍射光栅，再经衍射光栅衍射，其一级衍射被原路反射回，零级衍射经可拆卸的光隔离器后，再经过半波片，入射到F-P腔形成光反馈，其反馈光依次通过第二PBS、第一PBS后，被PD探测器检测，通过示波器显示出来，实现对反馈光强度和光谱特性的检测。本发明装置解决了介质内薄膜厚度和折射率的测量问题，且大幅度提高测量精度。该装置操作简单，稳定。

主权项

一种用于介质内测量薄膜厚度和折射率的装置，其特征在于：包括半导体二极管、非球面准直透镜、衍射光栅、半波片、可拆解的隔离器、PD探测器、F‑P腔、F‑P腔压电陶瓷和F‑P腔热沉；所述F‑P腔包括第一高反射膜、第二高反射膜和被测反射膜；第一高反射膜和第二高反射膜，均为平面结构，成一定角度放置，构成F‑P腔的两端反射面，反射率能达到99.9％；所成角度能保证光束分别垂直入射第一高反射膜和第二高反射膜；待测反射膜作为平面环形F‑P腔的入射面和输出耦合面；F‑P腔压电陶瓷粘在F‑P腔的第一高反射膜上，能对F‑P腔进行频率调谐；所述可拆解的隔离器包括第一偏振分束器、第二偏振分束器和磁极；第一偏振分束器、第二偏振分束器通过磁极连接；非球面准直透镜位于半导体二极管与衍射光栅之间，与半导体二极管同轴，位于衍射光栅的左侧位置，成衍射光的入射角；可拆解的隔离器位于衍射光栅的右侧位置，成第一衍射角；PD探测器位于第一偏振分束器的正下方；半波片位于可拆解的隔离器ISO与被测反射膜中间，与可拆解的隔离器ISO共轴；自半导体二极管发出的光线经非球面准直透镜准直后，入射到衍射光栅，再经衍射光栅衍射，其一级衍射被原路反射回，零级衍射经可拆卸的光隔离器后，再经过半波片，入射到F‑P腔形成光反馈，其反馈光依次通过第二偏振分束器、第一偏振分束器后，被PD探测器检测，通过示波器显示，实现对反馈光强度和光谱特性的检测。