[发明专利]全自动清洗机在审
| 申请号： | 201310534562.X | 申请日： | 2013-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103551344A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 张卫国;李启庆;寇明虎 | 申请（专利权）人： | 苏州辰轩光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 215129 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全自动清洗机，包括：机壳、依次设置在所述机壳内的进料装置、取片装置、兆声清洗装置、甩干装置以及出料装置；其中，所述取片装置在所述进料装置、兆声清洗装置、甩干装置以及出料装置之间移动送料。本发明采用通过将用于清洗晶片的各装置集成到一个机壳内，并由取片装置移动送料，实现晶片的全自动清洗，提高了晶片的清洗效率，节省生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 清洗 | ||
【主权项】：
一种全自动清洗机，其特征在于，包括：机壳、依次设置在所述机壳内的进料装置、取片装置、兆声清洗装置、甩干装置以及出料装置；其中，所述取片装置在所述进料装置、兆声清洗装置、甩干装置以及出料装置之间移动送料。
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