[发明专利]具有单带与多个独立控制处理线的红外线输送机炉

摘要

本发明是关于具有单带与多个独立控制处理线的红外线输送机炉，使用单一全宽输送机带的多区域红外线太阳能电池处理炉；选定区域通过上或/及下纵向分隔壁分成多个线且通过背靠一超高反射陶瓷材料平板的高强度辐射红外线灯进行加热。各区域/线中的灯数量及间距可能不同。个别及独立地控制上部与下部各灯或区域/线灯数组的功率以在各加热区域/线中提供多种温度特征。在多线区域中，该等红外线灯折迭，内部末端通过该等线分隔器支撑。灯外电源线皆自该炉的一侧进入。灯内部灯丝包括非辐射及辐射区段，其经排列用以使一对辐射区段以折迭灯组态对准且安置于太阳能电池晶圆的全宽度上。

主权项

一种用于热处理炉的模块，其特征在于，具有单一连续输送机带用以以并排关系线路、以一纵向制程路径方向传输多个太阳能电池晶圆通过该炉的多个处理区域，该模块包含以下的操作性组合：a.一沿一水平的大体中心线分隔而形成一上部及一下部的红外线灯加热模块，该模块经组态以涵盖该输送机带的全部侧宽，其中间隙供该输送机带自其穿过，该等模块部分包括协同突出以提供间隙的端壁，承载太阳能电池晶圆的该输送机带可以该纵向路径方向穿过该间隙，分别自该炉的上游区域穿入且进入下游区域；b.该模块包括至少一个经安置以在该模块内产生个别线的纵向分隔壁，该等线中的每一者与该带上的该等晶圆之一线路相对应，该分隔壁达不到该输送机带的水平路径即终止以允许其传输间隙，c.安置于该模块的该上部及该下部中的至少一者的至少一条线中的至少一个高反射氧化铝陶瓷组件，该高反射组件有一面指向该输送机带上传输的一晶圆的一表面；d.至少一个与该高反射组件表面隔开且处于该表面与该晶圆中间的高强度折迭管状红外线灯，该灯具有一取向垂直于通过该输送机带实现的晶圆传输的纵向的管长度、一折迭内部末端及具有连接电源的导线的并排外部末端；及e.夹持该折迭管状灯呈与该高反射组件隔开的关系的构件，以将高强度红外线辐射自该等灯有效导引至传输通过该制程区域的晶圆的至少一个表面上。