[发明专利]多工位微定位线位移测量装置有效
| 申请号： | 201310530182.9 | 申请日： | 2013-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN104596406A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 熊伟;李文璋;刘书选;甘霖;刘玉和;岳越 | 申请（专利权）人： | 北京精密机电控制设备研究所;中国运载火箭技术研究院 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高尚梅 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于一种直线式位移测量装置，具体公开一种多工位多自由度高精度微定位直线位移测量装置。该装置包括基准载体，固定在基准载体上的测量夹持结构、固定在基准载体上的测量驱动结构、位于基准载体上且在测量驱动结构的驱动下可以相对于基准载体移动的多自由度调节装置，测量夹持结构、多自由度调节装置、测量驱动结构位于一条直线上；多自由度调节装置的移动方向为沿所述直线方向。该装置缩短测量时间，提高工作效率，节省了购买设备数量和经济成本；多自由度调节结构操作方便，执行灵活，体积小，稳定性高；高精度的滚珠丝杠作为连接装置，有效的减小系统的配合误差，提高了测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 多工位微 定位 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种多工位微定位线位移测量装置，其特征在于：该装置包括基准载体（9），固定在基准载体（9）上的测量夹持结构（1）、固定在基准载体（9）上的测量驱动结构（2）、位于基准载体（9）上且在测量驱动结构（2）的驱动下可以相对于基准载体（2）移动的多自由度调节装置（3），测量夹持结构（1）、多自由度调节装置（3）、测量驱动结构（2）位于一条直线上；多自由度调节装置（3）的移动方向为沿所述直线方向。
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