[发明专利]一种金属切削测温用薄膜热电偶及其制备方法有效
| 申请号： | 201310529022.2 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103560204A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 方刚;陈曦 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/34;G01K7/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种金属切削测温用薄膜热电偶及其制备方法，属于薄膜技术与机械加工测量技术领域。其在陶瓷车刀刀片基底上，利用镂空机械掩模板以及电子束蒸发技术，沉积多层功能性薄膜。首先，为了解决陶瓷车刀刀片表面比较粗糙的问题，在基底上预镀一层缓冲层。接着在缓冲层上利用掩模板分别制备薄膜热电偶的Ni电极与NiCr电极，并且在车刀刀尖处形成测温节点。为了保护薄膜热电偶使其在金属切削测温中稳定发挥作用，在热节点区域上使用电子束蒸发的方法分别沉积绝缘层以及硬化保护层。本发明方法制造的薄膜热电偶，具有灵敏度高、响应速度快等优点，可以应用于工业生产环境中，解决了传统方法无法测得金属切削加工中快速变化的瞬态温度这一难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 切削 测温 薄膜 热电偶 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属切削测温用薄膜热电偶，其特征在于：薄膜热电偶采用多层结构，该结构自下而上包括陶瓷车刀刀片基底（1）、缓冲层（2）、Ni电极（3）、NiCr电极（4）、绝缘层（6）和硬化保护层（7）；所述的Ni电极（3）和NiCr电极（4）分别紧贴刀尖两侧的切削刃，两电极重叠搭接处形成测温热节点（5）；在所述的Ni电极和NiCr电极的末端分别设置电极接线板（8）。
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