[发明专利]一种半导体激光器光强分布测试方法及其装置有效

专利信息
申请号: 201310508297.8 申请日: 2013-10-24
公开(公告)号: CN103528676A 公开(公告)日: 2014-01-22
发明(设计)人: 刘兴胜;王贞福;吴迪 申请(专利权)人: 西安炬光科技有限公司
主分类号: G01J1/42 分类号: G01J1/42;G01M11/02
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 胡乐
地址: 710119 陕西省西安市高*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供一种半导体激光器光强分布测试方法,是将半导体激光器定位,经取样装置由激光强度测量仪探测接收到的激光光强;以激光器发光面几何中心为原点,设过原点垂直于激光器发光面的法线方向为z轴,在垂直于z轴的平面上过原点的直线为扫描基准线,取样装置的扫描幅面垂直于扫描基准线,本发明可以准确测试半导体激光器的远场光强分布,通过光强分布可以得到半导体激光器的光斑尺寸,远场发散角等信息。
搜索关键词: 一种 半导体激光器 分布 测试 方法 及其 装置
【主权项】:
半导体激光器光强分布测试方法,是将半导体激光器定位,经取样装置由激光强度测量仪探测接收到的激光光强;以激光器发光面几何中心为原点,设过原点垂直于激光器发光面的法线方向为z轴,在垂直于z轴的平面上过原点的直线为扫描基准线,取样装置的扫描幅面垂直于扫描基准线;其中,包括以下环节:取样装置在当前扫描幅面内,相对于半导体激光器以扫描基准线为轴、按照设定的扫描半径和步长旋转,实时记录取样装置相对于扫描中心的角度θ以及对应的光强度I,并记录原点至该扫描幅面的垂直距离;完成当前扫描幅面内的信息记录;相对于半导体激光器,取样装置沿扫描基准线轴向步进,按照上述操作再次进行扫描和记录;最终完成扫描基准线上全部扫描和记录,绘制出光强曲面。
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