[发明专利]聚焦粒子束系统和分析带电粒子束的能量的方法有效
| 申请号： | 201310506512.0 | 申请日： | 2013-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103779159B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | D.W.塔格尔;J.B.麦金;C.奥蒂斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 马红梅,刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种减速场分析器使用带电粒子束系统的现有部件，消除了对插入单独的减速场分析器装置的需要。使用现有柱的部件减少了分析束所需的时间。使用现有柱的成像能力便于束与分析器的对准。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 整合 减速 分析器 | ||
【主权项】：
一种分析包括带电粒子源和静电聚焦透镜的粒子光学柱内的带电粒子束的能量的方法，包括：从该带电粒子源中提取带电粒子；将这些带电粒子引导向该静电聚焦透镜；向该静电聚焦透镜的元件施加电压，以使这些带电粒子减速；以1.0V或以下的增量来增量地改变该元件上的电压以改变穿过该静电聚焦透镜的带电粒子的数量；以及检测通过该静电聚焦透镜的带电粒子束电流以确定该束中带电粒子的能量或能量分布。
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