[发明专利]一种全自动槽式化学镀设备及化学镀方法

摘要

本发明涉及一种应用于晶硅光伏电池生产的全自动槽式化学镀设备，属于晶硅光伏电池生产的化学镀设备技术领域。设备采用了化学镀方法及槽式的设计方案。设备的工艺槽体配备了循环系统、加热系统、过滤系统;加热系统设置在独立于工艺槽体之外的储液箱内；工艺槽采用了多管式并行进液及多孔式匀流板；设备配置了全自动的药液供给系统；设备出口端设置慢提拉干燥装置;与工艺药液接触的部件全部采用工程塑料制造；自动上料、自动下料；中间转运采用全自动机械手；本发明具备了全自动、槽体式、易维护、药液循环流量均匀、工艺温度均匀、药液性质稳定、晶硅电池干进干出等特点。

主权项

一种应用于晶硅光伏电池生产的全自动槽式化学镀方法，其特征在于含有以下步骤；设备采用了化学镀方案，即金属沉积完全是化学反应，无需像电镀一样的通入电流或使用光诱导；设备采用槽式方案，硅片在转运及工艺反应过程中都固定在相应的夹具中；基本的工艺流程按槽体排序如下：酸洗步骤；水洗步骤；激活步骤；镀镍步骤；干燥步骤；金属化步骤；酸洗步骤；水洗步骤；镀镍步骤；水洗步骤；镀铜步骤；干燥步骤；镀镍（或镀银）步骤；干燥，其中激活、镍、铜、银等金属镀槽，统称化学镀槽；通过使用自动上下料、自动机械手、循环系统闭环控制、自动药液供给、温度信号通讯等实现设备的全自动运转。通过使用自动药液供给系统实现自动混合药液和自动补充药液；通过使用加热、循环、过滤系统，实现药液温度均匀、药液混合均匀以及杂质去除。