[发明专利]条形阵列碲锌镉探测器的制备方法

摘要

本发明公开了一种条形阵列碲锌镉探测器的制备方法，用于解决现有方法制备条形阵列碲锌镉探测器时光刻图像边缘缺损的技术问题。技术方案是在长宽比较小的大尺寸碲锌镉单晶片上一次光刻出多个条形阵列图案，然后通过光刻胶保护条形阵列电极并采用划片机沿着光刻图案的外围轮廓划开，形成独立的条形阵列碲锌镉探测器。克服了晶片抛光时由于长宽比较大导致的塌边和光刻电极图案不完整等现象，同时解决了像素电极的倒装连接时由于晶片厚度不均匀导致的短路问题。由于采用光刻胶保护条形阵列电极进行划片切割，实现了对光刻电极的保护，避免了切割导致的晶片边缘崩裂。且一次能制备4～8个1×8～1×32的像素阵列条形探测器，降低了制备成本。

主权项

一种条形阵列碲锌镉探测器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：步骤一、采用垂直布里奇曼法生长的碲锌镉晶锭，沿着<111>方向定向切割成长宽比在1～2之间的矩形单晶片，晶片厚度在0.5～5mm之间；步骤二、切割好的单晶片经机械抛光和化学抛光后，在单晶片的{111}Cd面采用热蒸镀法或浓度为10～50g/L的AuCl3水溶液的化学方法制备Au电极，并在电极上涂覆光刻胶，以保护Au电极在后续的处理中不被破坏；在单晶片的{111}Te面同时光刻出4～6条1×8～1×32的条形阵列图案，并采用热蒸镀法或浓度为10～50g/L的AuCl3水溶液的化学方法制备Au电极；步骤三、在单晶片光刻电极表面均匀涂覆一层光刻胶以保护条形阵列电极在划片切割时不被切削液冲刷破坏；采用划片机沿着条形阵列电极图案的外围轮廓划开，形成独立的条形阵列碲锌镉探测器；步骤四、将条形阵列碲锌镉探测器放置于体积比为0.5～5%的Br2‑CH3OH溶液内腐蚀5～30分钟，以去除划片时造成的侧面损伤层；步骤五、将腐蚀完成后的条形阵列碲锌镉探测器放置于丙酮中去除条形阵列碲锌镉探测器覆盖的光刻胶，并用去离子水清洗3～5分钟，氮气吹干。