[发明专利]单光源双波长激光诱导击穿光谱测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种单光源双波长激光诱导击穿光谱测量装置及方法。该装置主要包括脉冲激光器、倍频晶体、分光镜、第一全反射镜、第二全反射镜、光快门、光谱仪、同步延迟控制器；脉冲激光器产生的激光通过倍频晶体后分为基频光和倍频光，照射在分光镜上；倍频光经所述第一全反射镜反射后垂直照射于待测样品的表面；基频光经过所述光快门、然后被所述第二全反射镜反射后平行照射在待测样品表面的上方1-5mm处；待测样品被激发出的等离子体产生的光谱信号会聚至光纤收集头，传送至光谱仪。本发明在实现双脉冲LIBS高探测灵敏度的同时，还具有结构简单、体积紧凑、价格低廉的优点，可广泛应用于激光诊断和光谱分析技术领域。

主权项

一种单光源双波长激光诱导击穿光谱测量装置，其特征在于：包括脉冲激光器、倍频晶体、分光镜、第一全反射镜、第二全反射镜、光快门、待测样品载台、光纤收集头、光谱仪、同步延迟控制器和计算机；所述的脉冲激光器产生的激光通过倍频晶体后分为基频光和倍频光，照射在分光镜上；所述的分光镜对基频光高反射、对倍频光高透射，经过分光镜后，基频光和倍频光被分为两个光路；所述的倍频光经所述第一全反射镜反射后垂直照射于待测样品的表面；所述的基频光经过所述光快门、然后被所述第二全反射镜反射后平行照射在待测样品表面的上方1‑5mm处；待测样品被激发出的等离子体产生的光谱信号会聚至光纤收集头，传送至光谱仪；所述的计算机与同步延迟控制器、光谱仪分别相连，用以负责参数设置、通信和总体控制；所述的同步延迟控制器根据计算机设置的参数对脉冲激光器、光快门以及光谱仪的同步和延迟进行控制；所述的光谱仪获得的光谱信号传递给计算机进行数据分析。