[发明专利]一种谐振式微加速度计

摘要

本发明的一种谐振式微加速度计，包括基底层和结构层，结构层包括音叉谐振单元、连接块、驱动电极、检测电极、惯性单元和耦合电容。音叉谐振单元包括音叉振梁和振梁电极，音叉振梁悬空，一端通过锚点与基底固定连接，另一端为自由端，振梁电极与音叉振梁固定连接。惯性单元悬空并与连接块之间通过耦合电容耦合，耦合电容用于将惯性块所受的惯性力耦合到连接块上。有益效果在于对振梁上的残余应力进行了释放，避免了翘曲与扭曲变形；并且在振梁工作过程中，始终受到静电力作用下的轴向拉力，不存在拉、压应力转化，避免了残余应力的影响；同时输入惯性力通过耦合电容加载到音叉振梁上，传递过程中无其它机械结构变形，保证了能量传递精度。

主权项

一种谐振式微加速度计，包括基底层和结构层，其特征在于，结构层包括音叉谐振单元、连接块、驱动电极、检测电极、惯性单元和耦合电容，所述音叉谐振单元包括音叉振梁和振梁电极，音叉振梁悬空，一端通过锚点与基底固定连接，另一端为自由端，振梁电极与音叉振梁固定连接；连接块包括连接块电极，所述连接块悬空并与音叉振梁的自由端固定连接；驱动电极和检测电极与振梁电极耦合连接，二者根据音叉振梁震动中的位置分别与振梁电极耦合；惯性单元悬空并与连接块之间通过耦合电容耦合，耦合电容用于将惯性块所受的惯性力耦合到连接块上。