[发明专利]一种用真空实现不同浓度液体的分离回收装置有效
| 申请号： | 201310481584.4 | 申请日： | 2013-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN104556254A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 王丽鹤;卢继奎 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/00 | 分类号： | C02F1/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及晶片显影完显影液排出用的设备，具体地说是一种用真空实现不同浓度液体的分离回收装置。包括气源、通断装置I、真空发生装置、通断装置II、废液盒I、通断装置III及废液盒II，其中真空发生装置的进气口和吸出口通过管路分别与气源和显影盒的固定盒连接，所述真空发生装置的排出口通过两条管路分别与废液盒I和废液盒II连接，所述废液盒II与固定盒的底部排液口连接；所述通断装置I设置于气源和真空发生装置之间的管路上，所述通断装置II设置于真空发生装置与废液盒I之间的管路上，所述通断装置III设置于真空发生装置和废液盒II之间的管路上。本发明能快速的将一定时间内的液体排出，相对废液前后段浓度是不一样的，实现不同浓度的废液分离和回收。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 实现 不同 浓度 液体 分离 回收 装置 | ||
【主权项】：
一种用真空实现不同浓度液体的分离回收装置，其特征在于：包括气源、通断装置I(3)、真空发生装置(4)、通断装置II(5)、废液盒I(6)、通断装置III(8)及废液盒II(13)，其中真空发生装置(4)的进气口(a)和吸出口(b)通过管路分别与气源和显影盒的固定盒(12)连接，所述真空发生装置(4)的排出口(c)通过两条管路分别与废液盒I(6)和废液盒II(13)连接，所述废液盒II(13)与固定盒(12)的底部排液口连接；所述通断装置I(3)设置于气源和真空发生装置(4)之间的管路上，所述通断装置II(5)设置于真空发生装置(4)与废液盒I(6)之间的管路上，所述通断装置III(8)设置于真空发生装置(4)和废液盒II(13)之间的管路上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳芯源微电子设备有限公司，未经沈阳芯源微电子设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310481584.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种含氰废水综合回收治理方法
- 下一篇：一种制备二价金属钛酸盐微球的方法
