[发明专利]一种磁记录薄膜结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201310476807.8 | 申请日： | 2013-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN103544968B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 吴琼;张朋越;王洁依;葛洪良 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84;C23C14/34;B32B17/06;B32B15/04 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种磁记录薄膜结构，包括在玻璃基片上交替沉积Fe层和Pt层，均沉积四层，即采用玻璃基片/(Fe/Pt)4的结构，在平行和垂直膜面的方向上的矫顽力均达到12.5kOe。本发明还公开了一种磁记录薄膜结构的制备方法；本发明的磁记录薄膜结构性能优良，热稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 记录 薄膜 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种磁记录薄膜结构的制备方法，包括如下步骤：（1）将玻璃基片、Fe靶和Pt片依次放入丙酮和酒精中用超声波清洗10min，用电吹风吹干后分别放置于仪器腔内基片和靶材位置；（2）关闭仪器腔门进行抽真空处理；（3）仪器抽真空至﹤5×10‑4Pa以后，加热基片至200℃；（4）通入氩气至1Pa后，按以下次序沉积Fe/Pt多层膜：30min的Fe层、30min的Pt层、30min的Fe层、30min的Pt层、30min的Fe层、30min的Pt层、30min的Fe层、30min的Pt层，即采用玻璃基片/(Fe/Pt)4的薄膜结构；（5）将沉积好的薄膜用玻璃刻刀切割成8mm×5mm的小长方块放入石英管中，对石英管进行抽真空处理：先采用机械泵粗抽至5.0Pa以下，再用分子泵抽真空至﹤5×10‑4Pa；（6）将管式电阻炉保温在500‑700℃；（7）将抽好真空的石英管放入管式电阻炉中保温退火处理2h。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量学院，未经中国计量学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310476807.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：利用相变换热避免空气预热器低温腐蚀的系统及方法
- 下一篇：自伴奏音乐毯
