[发明专利]多晶硅片的制绒辅助剂及制绒工艺有效

专利信息
申请号: 201310467329.4 申请日: 2013-10-09
公开(公告)号: CN104562011B 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 吴新正;陈静;胡彭年;张愿成;朱旭;张军;赵欣侃 申请(专利权)人: 上海太阳能工程技术研究中心有限公司
主分类号: C23F1/24 分类号: C23F1/24
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 杨元焱
地址: 200241 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种多晶硅片的制绒辅助剂,由以下组分按所附体积百分比配制而成:表面活性剂溶液15%~25%,乙二酸溶液20%~30%,去离子水45%~65%。采用上述多晶硅片的制绒辅助剂的制绒工艺,包括以下顺序进行的步骤:(a)配制制绒辅助剂,(b)酸腐蚀,(c)第一次去离子水冲洗,(d)碱洗,(e)第二次去离子水冲洗,(f)酸洗,(g)第三次去离子水冲洗,(h)吹干。本发明的制绒辅助剂无毒性、无腐蚀性,配制和使用工艺简单;应用于多晶硅片的制绒工艺,可使制绒后多晶硅片的反射率比常规制绒工艺制绒后多晶硅片的反射率低4%~5%左右,电池效率提升0.1%~0.15%。
搜索关键词: 制绒 多晶硅片 辅助剂 去离子水 制绒工艺 冲洗 配制 反射率 表面活性剂溶液 体积百分比 电池效率 酸腐蚀 无毒性 乙二酸 吹干 碱洗 酸洗 应用
【主权项】:
1.一种多晶硅片的制绒辅助剂,其特征在于,由以下组分按体积百分比配制而成:表面活性剂溶液  15%~25%;乙二酸溶液      20%~30%;去离子水        45%~65%;所述表面活性剂选自全氟烷基羧酸、全氟烷基胺及全氟烷基聚醚的复配。
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