[发明专利]多晶硅片的制绒辅助剂及制绒工艺有效
| 申请号： | 201310467329.4 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN104562011B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 吴新正;陈静;胡彭年;张愿成;朱旭;张军;赵欣侃 | 申请（专利权）人： | 上海太阳能工程技术研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制绒 多晶硅片 辅助剂 去离子水 制绒工艺 冲洗 配制 反射率 表面活性剂溶液 体积百分比 电池效率 酸腐蚀 无毒性 乙二酸 吹干 碱洗 酸洗 应用 | ||
1.一种多晶硅片的制绒辅助剂，其特征在于，由以下组分按体积百分比配制而成：
表面活性剂溶液 15％～25％；
乙二酸溶液 20％～30％；
去离子水 45％～65％；
所述表面活性剂选自全氟烷基羧酸、全氟烷基胺及全氟烷基聚醚的复配。
2.根据权利要求1所述的多晶硅片的制绒辅助剂，其特征在于：所述表面活性剂溶液中，表面活性剂的重量百分含量为0.5～2％。
3.根据权利要求1所述的多晶硅片的制绒辅助剂，其特征在于：所述乙二酸溶液中，乙二酸的重量百分含量为1％～5％。
4.采用权利要求1所述多晶硅片的制绒辅助剂的制绒工艺，其特征在于，包括以下顺序进行的步骤：
(a)配制制绒辅助剂
将表面活性剂溶液、乙二酸溶液和去离子水按照所述体积百分比配制成制绒辅助剂；
(b)酸腐蚀
在常用多晶制绒硝酸和氢氟酸混合液中，加入制绒辅助剂，配制成酸腐蚀液，其中制绒辅助剂的加入体积为酸腐蚀液总体积的5％，然后向酸腐蚀液中投入硅片进行酸腐蚀；
(c)第一次去离子水冲洗
取出硅片，用去离子水清洗硅片表面剩余的酸及有机物；
(d)碱洗
用碱液洗涤硅片，去除酸腐蚀后在硅片表面形成的多孔硅；
(e)第二次去离子水冲洗
用去离子水清洗硅片表面剩余的碱；
(f)酸洗
用酸液洗涤硅片，中和硅片表面剩余的碱，以及去除重金属离子；
(g)第三次去离子水冲洗
用去离子水清洗硅片表面剩余的酸；
(h)吹干
将硅片吹干；
所述表面活性剂选自全氟烷基羧酸、全氟烷基胺及全氟烷基聚醚的复配。
5.根据权利要求4所述的制绒工艺，其特征在于：所述表面活性剂溶液中，表面活性剂的重量百分含量为0.5～2％。
6.根据权利要求4所述的制绒工艺，其特征在于：所述乙二酸溶液中，乙二酸的重量百分含量为1％～5％。
7.根据权利要求4所述的制绒工艺，其特征在于：步骤(b)中的酸腐蚀温度为5～25，℃腐蚀时间为60～200s；步骤(d)中的碱洗温度为30～℃40，℃碱洗时间为15～45s。
8.根据权利要求7所述的制绒工艺，其特征在于：步骤(b)中的酸腐蚀温度为5～10℃，腐蚀时间为100～150s。
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