[发明专利]用于超精密抛光的核壳结构复合料浆的制备方法

摘要

本发明涉及抛光液制备技术，旨在提供一种用于超精密抛光的核壳结构复合料浆的制备方法。该方法包括：搅拌下向无水乙醇中加入a-Al2O3纳米粉体、分散剂，得到纳米a-Al2O3分散液；在搅拌下向a-Al2O3分散液中加入去离子水、氨水，再加入正硅酸甲酯，60℃下搅拌8h后，80℃下恒温回流8h；通过减压蒸馏将分散液浓缩使其浓度提高一倍；再加入去离子水稀释，使浓缩分散液浓度降低到与浓缩前浓度一致，制得SiO2包覆a-Al2O3的核壳结构复合浆料。本发明通过在硬度较大，但表面不规则的a-Al2O3表面包覆一定厚度的硬度较低的SiO2层来减少a-Al2O3在抛光过程中表面的不规则棱角对工件的刮擦和划痕。使用了粒度大小（中位粒度）和粒度分布均匀的a-Al2O3抛光粒子，有助于提高精密抛光工艺的抛光精度。

主权项

一种用于超精密抛光的核壳结构复合料浆的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）在800r/min的搅拌速率下，向90份无水乙醇中加入10～20份a‑Al2O3纳米粉体、0.04～0.16份分散剂，搅拌10小时后得到纳米a‑Al2O3分散液；（2）在300r/min条件下，向100份a‑Al2O3分散液中加入1～5份去离子水、0.5份作为催化剂的氨水，搅拌0.5h；再加入5～10份正硅酸甲酯，在60℃下搅拌8h后，在80℃下恒温回流8h；（3）通过减压蒸馏将步骤（2）制备获得的分散液浓缩，使其浓度提高一倍；再加入去离子水稀释，使浓缩分散液浓度降低到与浓缩前浓度一致，制得SiO2包覆a‑Al2O3的核壳结构复合浆料；所述各物料的用量的比例关系均为质量份数。