[发明专利]用于超精密抛光的核壳结构复合料浆的制备方法

权利要求书

1.一种用于超精密抛光的核壳结构复合料浆的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）在800r/min的搅拌速率下，向90份无水乙醇中加入10～20份a-Al₂O₃纳米粉体、0.04～0.16份分散剂，搅拌10小时后得到纳米a-Al₂O₃分散液；

（2）在300r/min条件下，向100份a-Al₂O₃分散液中加入1～5份去离子水、0.5份作为催化剂的氨水，搅拌0.5h；再加入5～10份正硅酸甲酯，在60℃下搅拌8h后，在80℃下恒温回流8h；

（3）通过减压蒸馏将步骤（2）制备获得的分散液浓缩，使其浓度提高一倍；再加入去离子水稀释，使浓缩分散液浓度降低到与浓缩前浓度一致，制得SiO₂包覆a-Al₂O₃的核壳结构复合浆料；

所述各物料的用量的比例关系均为质量份数。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（1）中所述a-Al₂O₃纳米粉体具有以下粒度分布要求：中位粒径D₅₀在0.2～0.8μm之间，D₁₀≥0.6D₅₀，D₉₀≤1.8D₅₀，D₅₀≤3D₁₀₀。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（1）中所述分散剂为十六烷基三甲基溴化铵、聚乙二醇20000、十二烷基苯磺酸钠其中一种或任意几种的组合。