[发明专利]具有带集成横向特征的复合电极的声共振器在审
| 申请号： | 201310446558.8 | 申请日： | 2013-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN103780219A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 达里乌斯·布拉卡;菲尔·尼克尔;克里斯·冯;约翰·克伊 | 申请（专利权）人： | 安华高科技通用IP(新加坡)公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本申请案涉及一种具有带集成横向特征的复合电极的声共振器。一种体声波BAW共振器装置包含：底部电极，其在衬底上于腔及声反射器中的一者上方；压电层，其在所述底部电极上；及顶部电极，其在所述压电层上。在所述底部电极及所述顶部电极中的一者处的是具有集成横向特征的复合电极，所述集成横向特征布置于所述复合电极的平面顶部表面与底部表面之间且经配置以形成截止频率失配。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 集成 横向 特征 复合 电极 共振器 | ||
【主权项】：
一种体声波BAW共振器装置，其包括：底部电极，其在衬底上于腔及声反射器中的一者上方；压电层，其在所述底部电极上；及顶部电极，其在所述压电层上；其中所述底部电极及所述顶部电极中的至少一者包括具有集成横向特征的复合电极，所述集成横向特征布置于所述复合电极的平面顶部表面与底部表面之间且经配置以形成截止频率失配及声阻抗失配中的至少一者。
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