[发明专利]一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置

摘要

一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调整装置存在的结构复杂，加工困难，且缺乏预紧机构的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、四个柔性驱动块和四个压电叠堆驱动器，四个柔顺驱动块上端固定在镜框上，且均布在镜框底部圆柱面上；压电叠堆驱动器固定在柔顺驱动块上；四个电容传感器分别与镜框的上表面平行设置，并与压电叠堆驱动器的输入点对应；镜框内放置光学元件；镜框底部加工四个均布的矩形凹槽；柔顺驱动中柔顺结构顶部与凸台相连，柔顺结构底部与底座相连，柔顺驱动块顶部凸台与镜框底部凹槽配合，四个压电叠堆驱动器的底部固定在底座边框中心。

主权项

一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置，其特征是，包括四个电容传感器（1）、镜框（2）、四个柔性驱动块（4）和四个压电叠堆驱动器（6），四个柔顺驱动块（4）上端固定在镜框（2）上，且均布在镜框（2）底部圆柱面上；所述压电叠堆驱动器（6）固定在柔顺驱动块（4）上；所述四个电容传感器（1）分别与镜框（2）的上表面平行设置，并与压电叠堆驱动器（6）的输入点对应；镜框（2）内放置光学元件（5）。