[发明专利]一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置

权利要求书

1.一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置，其特征是，包括四个电容传感器（1）、镜框（2）、四个柔性驱动块（4）和四个压电叠堆驱动器（6），四个柔顺驱动块（4）上端固定在镜框（2）上，且均布在镜框（2）底部圆柱面上；所述压电叠堆驱动器（6）固定在柔顺驱动块（4）上；所述四个电容传感器（1）分别与镜框（2）的上表面平行设置，并与压电叠堆驱动器（6）的输入点对应；镜框（2）内放置光学元件（5）。

2.根据权利要求1所述的一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置，其特征在于，所述镜框（2）底部具有四个均布的矩形凹槽（2-1）；柔顺驱动块（4）包括柔顺结构（4-1）、凸台（4-2）和底座（4-3），柔顺结构（4-1）顶部与凸台（4-2）相连，柔顺结构（4-1）底部与底座（4-3）相连，柔顺驱动块（4）顶部凸台（4-2）与镜框（2）底部凹槽（2-1）配合，所述四个压电叠堆驱动器（6）的底部固定在底座（4-3）边框中心。

3.根据权利要求1所述的一种投影物镜系统中轴向调节装置，其特征在于，光学元件（5）通过六个压片（3）固定在镜框（2）上。