[发明专利]基板检查装置和基板检查方法

摘要

本发明提供一种能够容易且迅速地将检查头所包括的多个检查探针的压入量调整为合适的值或范围的基板检查装置。基板检查装置（10）测量基板（1）的电特性，检查该基板是否良好，具备至少一个检查头（20U或（20D））、移动机构（50）、模拟操作部（15）以及控制单元（70）。模拟操作部（15）通过模拟地进行调节操作来调节基于移动机构（50）的检查头的移动量。控制单元（70）根据模拟操作部的操作量，控制移动机构的移动量，来调整检查头（20U）的多个检查探针与基板的检查触点接触时的压入量。

主权项

一种基板检查装置，用于测量通过形成多个布线图案或接点而包含多个检查用触点的基板的电特性，来检查该基板是否良好，所述基板检查装置具备：包含多个检查探针的至少一个检查头；移动机构，所述移动机构使所述检查头从与所述基板的至少一个主面垂直的一个方向移动，来使所述多个检查探针与所述基板的规定的检查触点导通接触；模拟操作部，所述模拟操作部通过模拟地进行调节操作，来调节基于所述移动机构的所述检查头的移动量；以及控制单元，所述控制单元根据所述模拟操作部的操作量，控制所述移动机构的移动量，来调整所述检查头的多个检查探针与所述基板的检查触点接触时的压入量。