[发明专利]具有振动元件的热流量传感器和包括至少一个该传感器的气体传感器有效
| 申请号： | 201310436448.3 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN103674336B | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 劳伦特·杜拉福格;菲利浦·安德勒茨;艾瑞克·克莱特;纪尧姆·约丹;朱利恩·阿卡莫尼 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | G01K17/06 | 分类号： | G01K17/06;G01N30/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 胡春光;张颖玲 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种热流量传感器，其包括：‑支撑件（2），‑至少一个意在相对于支撑件（2）振动的元件（4），‑相对于振动元件（4）的用于所述振动元件（4）的悬挂装置（14），‑用于加热振动元件（4）的装置（10），‑用于静电激励振动元件（4）从而使振动元件以其共振频率振动的装置（8），‑用于检测振动元件（4）的共振频率变化的压电计（12）、形成用于通过焦耳效应加热振动元件（4）的装置的计量器，以及包括两个梁的悬挂装置（14），所述两个梁由纳米线形成从而减小从振动元件朝向支撑件的热量损失。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 振动 元件 流量传感器 包括 至少 一个 传感器 气体 | ||
【主权项】：
1.一种热流量传感器，其包括：‑支撑件(2)，‑意在相对于支撑件(2)振动的两个振动元件(504、504')，‑用于使所述振动元件(504、504')相对于支撑件(2)绝缘的悬挂和热绝缘装置(14、114)，‑用于加热振动元件(504、504')的加热装置(510)，所述加热装置位于与所述振动元件(504、504')分离处，所述加热装置由悬挂线(522)形成，加热然后由所述加热装置(510)和所述振动元件(504、504')之间通过气态环境的传导而获得，所述两个振动元件(504、504')被定位在所述悬挂线(522)的两侧从而执行差动测量，‑用于激励所述振动元件(504、504')从而使振动元件以其共振频率振动的装置(8)，‑用于检测由振动元件的温度变化引起的振动元件(504、504')的共振频率变化的检测装置(12、412)，所述温度变化由于与周围气体的热交换而产生。
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