[发明专利]制造太阳能电池中的CIGS吸收层的装置及方法

摘要

本发明提供了一种制造太阳能电池中的CIGS吸收层的装置和方法，该方法包括在太阳能电池衬底的底电极的表面上方形成多个前体层。形成步骤包括：利用溅射源或蒸发源在该表面的至少一部分上方沉积包含镓和铟中的至少一种、硒和铜的第一层，第一层具有第一铜浓度；在该至少部分表面上方沉积包含由铜、镓和铟组成的组中的至少一种以及硒的第二层，第二层具有低于第一铜浓度的第二铜浓度；然后对前体层进行退火以形成吸收层。

主权项

一种形成太阳能电池的吸收层的方法，包括：在太阳能电池衬底的底电极的表面上方形成多个前体层，形成步骤包括：利用溅射源或蒸发源在至少部分表面上方沉积包含镓和铟中的至少一种、硒和铜的第一层，所述第一层具有第一铜浓度；在所述至少部分表面上方沉积包含由铜、镓和铟组成的组中的至少一种、和硒的第二层，所述第二层具有比所述第一铜浓度低的第二铜浓度；以及对所述前体层进行退火以形成吸收层。