[发明专利]一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法无效
| 申请号： | 201310429215.0 | 申请日： | 2013-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN104451570A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 袁萍 | 申请（专利权）人： | 无锡慧明电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡山区锡山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，该方法是：在真空室内，通过磁控溅射的方法，将靶材上的锡元素电离并使它沉积到工件表面，在电场作用下，工件表面的锡与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上成膜。采用本发明的方法，所镀氧化锡膜根据厚度，可以呈现银白、粉红、绿、蓝和金黄等色彩。膜层艺简单，成本低，膜层附着力好，并具有很好的耐腐蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 磁控溅射 彩色 方法 | ||
【主权项】：
一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工作氩气和氧气，借由真空室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速具有高能量后，轰击阴极锡靶表面，将动量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材表面，在电场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上形成彩色膜。
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