[发明专利]一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法。

背景技术

采用真空镀膜的方法已经能够制备很多中色彩鲜艳的膜层，其中很多已经广泛应用到我们生产生活的各个方面，但是由于真空镀膜本身条件的限制，真空镀膜产生的颜色色彩种类相对自然颜色还是比较缺乏；本发明采用磁控溅射的方法，在材料表面镀制氧化锡膜，通过控制膜的成份、厚度，可以产生银白色、粉红色、绿色、蓝色和金黄色等产品，丰富了真空镀膜在装饰行业的应用。

发明内容

本发明的目的是提供一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，可以实现所镀的彩色膜层为单层氧化锡膜，其反射光颜色为多种单色光，而且附着力强、不导电。

本发明的采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工作氩气和氧气，借由真空室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速具有高能量后，轰击阴极锡靶表面，将动量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材表面，在电场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上形成彩色膜。

本发明具有以下优点：

通过改变氧化锡薄膜的折射率和厚度使产品产生某一特定颜色；产品颜色为膜层折射或反射不同波长的光而产生，不易褪色，外观看起来具有绚丽的金属反光色泽，特别高雅美观；可通过调节膜层厚度及折射率，制成银白色、粉红、绿色、蓝色和金黄色等产品；

业界主要应用于电子产品外壳镀制一层金属或金属氧化物，以达到反光颜色为多种单色光的目的。本发明则是主要应用于电子产品显示屏幕，以达到反光颜色为多种单色光的目的；

所镀膜层为单层氧化锡膜，工艺简单，成本降低；

彩色膜为不导电层，不影响射频通讯；膜层附着力好，具有很好的耐腐蚀性。

具体实施方式

本发明提供一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工作氩气和氧气，借由真空室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速具有高能量后，轰击阴极锡靶表面，将动量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材表面，在电场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上形成彩色膜。

这里要说明的是，本发明的方法在实施前，跟业界产品镀膜的方式类似，都要将基片进行前处理，包括纯清水洗净>超音波溶剂清洗>超音波纯水清洗>烘干；然后装夹于治具上>电枪除尘>本发明的磁控溅射>印刷油墨>烘烤>清洁>检查>包装。这里我们就以电子显示屏幕为例，对于详细的操作我们就不进行分析介绍。

电子显示屏幕的镀膜包括：

1)基片前处理，该工序的目的是为了除去基片表面的灰尘、油腻、白点、指纹；

2)装夹于卡具上；

3)电枪除尘，目的是在溅镀前再次除去基片上的灰尘，增加膜层的附着力；

4)磁控溅射在基片镀氧化锡膜层；

5)印刷油墨可起保护膜层的作用，使膜层在油墨底色的映照下，呈现绚丽的金属颜色光泽；

6)烘烤，在160℃烘箱内，烘烤0.5h，该工艺主要为了干燥固化油墨；

7)清洁，用酒精擦拭去除不洁、异物等；

8)检查，确认是否存在刮擦伤、白点、颜色不均等不良；

9)包装。

值得一提的是，采用本发明实现的彩色膜的反光颜色包括：白色、黄色、粉色、蓝色以及绿色等。该些反光颜色可通过改变氧化锡膜的厚度实现。这里我们以黄色为例，所述溅射的起始压力为8.0×10^-5Pa，溅射过程中的压力为：2.0×10^-3Pa，我们将阳极基板设为运动的，把阴极锡靶材设为静止的，在制程中，我们将阳极基板的运行速度设定为15mm／s，加于阴极锡靶材上面的电功率为0.6KW，通入的氩气速度为：100ml／min，通入的氧气速度为：10ml／min，经过4趟的溅射处理，所述的趟数是指靶材从起点到终点，或者从终点到起点为一趟，往返为两趟，即可做出反光颜色为黄色。

表一是列出了生成其他几种颜色，所需要的较佳的条件，可见，本发明制备不同颜色的方法是通过改变氧化锡膜的厚度实现。