[发明专利]小型微纳米级三坐标测量机无效
| 申请号： | 201310423951.5 | 申请日： | 2013-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN104457563A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李志刚 | 申请（专利权）人： | 李志刚 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 小型微纳米级三坐标测量机属于监控量领域，尤其是涉及一种氢原子钟智能化监控系统。本发明提供一种成本较低的一种小型微纳米级三坐标测量机。本发明包括基座，其结构要点是：基座上设置有工作台部件，工作台部件上设置有纳米定位工作台；基座上还设置有桥架，桥架上设置有CCD组件和测头。 | ||
| 搜索关键词： | 小型 纳米 坐标 测量 | ||
【主权项】：
小型微纳米级三坐标测量机，包括基座（1），其特征在于基座（1）上设置有工作台部件（3），工作台部件（3）上设置有纳米定位工作台（6）；基座（1）上还设置有桥架（2），桥架（2）上设置有CCD组件和测头（7）。
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