[发明专利]一种离轴椭球面镜的检测装置及其检测方法无效
| 申请号： | 201310422011.4 | 申请日： | 2013-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN103438831A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 施丽敏;赵剑敏;顾亚平;魏向荣 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种离轴椭球面镜的检测装置，由斐索干涉仪及其标准球面镜、五维调整架、补偿小球及其三维调整架组成，标准球面镜是所述的斐索干涉仪的光束输出窗口，所述的五维调整架的顶面固定一基座，在该基座的一端固定所述的三维调整架，另一端供待测离轴椭球面镜摆放，所述的斐索干涉仪位于所述的基座摆放待测离轴椭球面镜的正上方；及其检测方法。本发明能够快速定位被测离轴椭球面，提高检测离轴椭球面的效率，从而提高了生产效率，降低了检测成本，实现了对各种离轴椭球面的检测，弥补了现有技术中的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 椭球 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种离轴椭球面镜的检测装置，其特征在于，该装置由斐索干涉仪（1）及其标准球面镜（2）、五维调整架（6）、补偿小球（4）及其三维调整架（5）组成，标准球面镜（2）是所述的斐索干涉仪（1）的光束输出窗口，所述的五维调整架（6）的顶面固定一基座，在该基座的一端固定所述的三维调整架（5），另一端供待测离轴椭球面镜（3）摆放，所述的斐索干涉仪（1）位于所述的基座摆放待测离轴椭球面镜的正上方。
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