[发明专利]高致密度氧化锌基靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201310412822.6 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN104416160B | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;高明;唐培新;张路长;郝权;缪磊;王江廷;姜海;姚伟 | 申请（专利权）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/14 | 分类号： | B22F3/14 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)11387 | 代理人： | 刘春成,张向琨 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高致密度氧化锌基靶材及其制备方法。该方法依次包括如下步骤混料步骤向原料中加入粘结剂和水，混合均匀，得到均匀浆料，然后将所述浆料进行干燥并制粉，得到粒度分布均匀的干燥粉末颗粒；脱粘结剂及除气步骤将所述干燥粉末颗粒装入对应尺寸的包套内，进行脱粘结剂及除气处理；热等静压步骤将脱粘结剂及除气完毕的包套封焊后进行热等静压处理；退火步骤对去除包套后的锭坯进行退火处理。采用该方法得到的氧化锌基靶材的相对密度不低于理论密度的99%，密度均匀，平均晶粒尺寸不大于30μm，无气孔和疏松。 | ||
| 搜索关键词： | 致密 氧化锌 基靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高致密度氧化锌基靶材的制备方法，其特征在于，依次包括如下步骤：混料步骤：向原料中加入粘结剂和水，混合均匀，得到均匀浆料，然后将所述浆料进行干燥并制粉，得到粒度分布均匀的干燥粉末颗粒；所述干燥并制粉的方法为喷雾制粉工艺；脱粘结剂及除气步骤：将所述干燥粉末颗粒装入对应尺寸的包套内，进行脱粘结剂及除气处理；热等静压步骤：将脱粘结剂及除气完毕的包套封焊后进行热等静压处理；退火步骤：对去除包套后的锭坯进行退火处理；其中，所述原料包括锌源和氧源；所述热等静压的保温温度为1000‑1600℃，保温时间1‑10小时，压力为50‑200MPa；在所述退火步骤中，退火温度为300‑900℃，退火时间为1‑10小时，退火气氛为氧化气氛。
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