[发明专利]一种SiC／Ta/C／Ta／SiC多层抗氧化耐高温涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种SiC／Ta／C／Ta／SiC多层抗氧化耐高温涂层及其制备方法。由SiC层、Ta层和C层叠层组成，其特征在于叠层的次序依次为SiC层、Ta层、C层、Ta层、SiC层，循环1～3次，C层两侧均为Ta层，最内层和最外层均为SiC层，通过化学气相沉积法在所制备的SiC层上依次沉积Ta层，C层，Ta层和SiC层，得到SiC／Ta／C／Ta／SiC多层防氧化耐高温涂层。外层SiC在高温有氧环境中形成一层SiO₂膜，能有效阻止氧原子的扩散，同时在Ta层和C层的接触面，可形成TaC层进一步提高抗氧化性能。涂层的交替沉积能够有效缓解涂层之间热膨胀系数差异，可显著提高涂层的热震性能，通过控制沉积时间和沉积次数可控制基体的厚度和层数，可实现对复合涂层微观结构的控制。

主权项

一种SiC／Ta／C／Ta／SiC多层抗氧化耐高温涂层，由SiC层、Ta层和C层叠层组成，其特征在于叠层的次序依次为SiC层、Ta层、C层、Ta层、SiC层，循环1～3次，C层两侧均为Ta层，最内层和最外层均为SiC层。