[发明专利]一种以电磁力驱动的超高精度定位工作台

摘要

本发明是一种以电磁力驱动的超高精度定位工作台，包括底座、固定安装在所述机座上的直线导轨、配合所述直线导轨以直线往复移动的滑台，在所述滑台与所述底座相对的一面上安装一块磁体，在所述磁体下方的所述底座上设置有线圈，在所述滑台的一个侧面下端还安装有光栅尺，在所述光栅尺运动轨迹下方的所述底座上固定安装有感应头。采用本发明技术方案，工作台可获得大推力，实现高速、高精度、高响应性定位，此外，采用电磁驱动方式，机械接触部分只有直线导轨设备，因此可实现高洁净度、低噪音甚至无噪音。

主权项

一种以电磁力驱动的超高精度定位工作台，包括底座（1）、固定安装在所述底座（1）上的直线导轨（2）、配合所述直线导轨（2）以直线往复移动的滑台（3），其特征在于，在所述滑台（3）与所述底座（1）相对的一面上安装一块磁体（4），在所述磁体（4）下方的所述底座（1）上设置有线圈（5），在所述滑台（3）的一个侧面下端还安装有光栅尺（6），在所述光栅尺（6）运动轨迹下方的所述底座（1）上固定安装有感应头（7）。