[发明专利]具有过滤器的容器在审
| 申请号： | 201310399699.9 | 申请日： | 2013-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN103480208A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | C·M·伯特彻;T·A·斯特德尔;雷新建;S·V·伊瓦诺夫 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D46/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种容器，用于从所述容器内含有的前体材料中传输含前体流体流，所述容器包括：由顶、一个或多个侧壁及底限定的内部体积；和至少一个用于气化的前体的流体出口，和至少一个颗粒屏障，所述至少一个颗粒屏障限定了在内部体积中的至少一个颗粒限制空间的至少部分，其中所述至少一个颗粒屏障包括至少一个三维过滤器。本发明还公开了使用该设备的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 过滤器 容器 | ||
【主权项】：
一种容器，用于从所述容器内含有的前体材料中传输含前体的流体流，所述容器包括：由顶、一个或多个侧壁及底限定的内部体积；和至少一个用于气化的前体的流体出口，和至少一个颗粒屏障，所述至少一个颗粒屏障限定了在内部体积中的至少一个颗粒限制空间的至少部分，其中所述至少一个颗粒屏障包括至少一个三维过滤器。
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