[发明专利]惯性约束聚变实验用空心微球的电沉积金工艺在审

专利信息
申请号: 201310397270.6 申请日: 2013-09-04
公开(公告)号: CN104419928A 公开(公告)日: 2015-03-18
发明(设计)人: 龚伶 申请(专利权)人: 龚伶
主分类号: C23C28/02 分类号: C23C28/02;C25D3/48;C25D5/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610000 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了惯性约束聚变实验用空心微球的电沉积金工艺,包括以下步骤:步骤一、在空心玻璃微球表面溅射厚度为50~60nm的金属导电层,得到溅射金属空心微球;步骤二、在镀槽中配置镀金液,其中,镀金液中金25g/L、亚硫酸铵780ml/L;步骤三、将阳极材料金和阴极材料铜放置在镀槽内,并将溅射金属空心微球放入镀槽内;步骤四、通过加热使电镀槽内电镀液温度为40~50℃,通电使镀槽内电镀液的电流密度为2.1~2.5mA/cm2,并在通电后使阴极以100~200r/min的转速旋转;步骤五、在溅射金属空心微球表面沉积3~12μm的金层后停止通电,得到空心金属微球。采用本发明在空心玻璃微球表面电沉积金得到的空心金属微球厚度均匀、表面平整。
搜索关键词: 惯性 约束 聚变 实验 空心 沉积 金工
【主权项】:
惯性约束聚变实验用空心微球的电沉积金工艺,其特征在于,包括以下步骤:步骤一、在空心玻璃微球表面溅射厚度为50~60nm的金属导电层,得到溅射金属空心微球;步骤二、在镀槽中配置镀金液,其中,镀金液中金25g/L、亚硫酸铵780ml/L;步骤三、将阳极材料金和阴极材料铜放置在镀槽内,并将溅射金属空心微球放入镀槽内;步骤四、通过加热使电镀槽内电镀液温度为40~50℃,通电使镀槽内电镀液的电流密度为2.1~2.5mA/cm2,并在通电后使阴极以100 ~200r/min的转速旋转;步骤五、在溅射金属空心微球表面沉积3~12μm的金层后停止通电,得到空心金属微球。
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