[发明专利]惯性约束聚变实验用空心微球的电沉积金工艺在审
| 申请号： | 201310397270.6 | 申请日： | 2013-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN104419928A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 龚伶 | 申请（专利权）人： | 龚伶 |
| 主分类号： | C23C28/02 | 分类号： | C23C28/02;C25D3/48;C25D5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 惯性 约束 聚变 实验 空心 沉积 金工 | ||
【权利要求书】：
1.惯性约束聚变实验用空心微球的电沉积金工艺，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、在空心玻璃微球表面溅射厚度为50～60nm的金属导电层，得到溅射金属空心微球；
步骤二、在镀槽中配置镀金液，其中，镀金液中金25g/L、亚硫酸铵780ml/L；
步骤三、将阳极材料金和阴极材料铜放置在镀槽内，并将溅射金属空心微球放入镀槽内；
步骤四、通过加热使电镀槽内电镀液温度为40～50℃，通电使镀槽内电镀液的电流密度为2.1～2.5mA/cm2，并在通电后使阴极以100 ～200r/min的转速旋转；
步骤五、在溅射金属空心微球表面沉积3～12μm的金层后停止通电，得到空心金属微球。
2.根据权利要求1所述的惯性约束聚变实验用空心微球的电沉积金工艺，其特征在于，所述步骤四中电镀液温度为45℃。
3.根据权利要求1所述的惯性约束聚变实验用空心微球的电沉积金工艺，其特征在于，所述步骤四中镀槽内电镀液的电流密度为2.3 mA/cm2。
4.根据权利要求1所述的惯性约束聚变实验用空心微球的电沉积金工艺，其特征在于，所述步骤四中通电后阴极转速为150r/min。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的惯性约束聚变实验用空心微球的电沉积金工艺，其特征在于，所述步骤二中配置的电镀液中还包括100g/L的柠檬酸钾。
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