[发明专利]数字光刻微雕的制作装置及其雕刻制作方法

摘要

本发明公开数字光刻微雕的制作装置及其雕刻制作方法，它采用DMD取代传统光刻技术中的固定的掩模版。由于DMD具有空间调制特性，能生成与原版字画等艺术品一致的图案或文字，再根据光刻镜头（缩微物镜）的光学成像原理，即可将整版图像微缩到涂覆有光刻胶的玻璃上。结合湿法光刻工艺，将所得图像最终转印到能够长久保存的真空镀铬金属膜的玻璃基材上，使得该微雕工艺的制作周期较之于传统的手工微雕工艺制作周期要缩短很多。该微雕制作装置与制作方法克服了传统手工微雕工艺品图样失真、成品率低、甚至功亏一篑等诸多缺点，是一种在微雕技术中具有创新的制作装置与制作方法。

主权项

一种数字光刻微雕的制作装置，它包括紫光半导体激光器、反射镜、扩束镜、准直透镜、光束提升器、数字微镜器件、缩微物镜、光刻胶版、三维精密电控平移台和计算机，其特征在于数字微镜器件连接计算机，计算机将图形或文字输送到数字微镜器件，并使得图像或文字在数字微镜器件和计算机上的分辨率一致，通过三维精密电控平移台控制各个部件的位置，使得从紫光半导体激光器发射的激光束先通过反射镜反射，然后经过扩束镜和准直透镜后，照射到一个光束提升器上，光束提升器使准直后的激光束与数字微镜器件的平面法线成20°角入射，从数字微镜器件发出的+1级的出射光作为物光波，它经过与其同轴的缩微物镜后，照射到光刻胶版上，使得数字微镜器件上的图形或文字在光刻胶版上形成“潜像”。