[发明专利]一种多晶硅干法尾气分离回收的方法及装置在审
| 申请号： | 201310393698.3 | 申请日： | 2013-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN103466548A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 宋高杰;张旭;陈文岳;刘桂林 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/52 | 分类号： | C01B3/52;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 830011 新疆维吾*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅干法尾气分离回收的方法及装置，特点是首先从解析塔中下部侧线采出循环氯硅烷送去产品贮罐；再从解析塔塔底分离出较纯的贫液-高温吸收塔淋洗液，通过换热器设备，与吸收塔塔底吸收后低温的富液进行热量交换。所述的装置包括吸收塔、解析塔、换热器及循环液输送泵。本发明用从解析塔中下部侧线采出富含三氯氢硅的氯硅烷，再从解析塔塔釜采出温度高的123-135℃高纯贫液与温度低的15-35℃富液进行能量转化，即实现了高效分离干法尾气中各组分，又可以降低15-25%吸收-解析循环量，同时实现了降低系统的20-25%的冷量消耗及10-15%的电耗，以及大大提高了吸收塔塔顶产品的品质和解析塔侧线产品的三氯氢硅纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅干法 尾气 分离 回收 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅干法尾气分离回收的方法，其特征在于：首先从解析塔（2）侧线采出产品氯硅烷去产品罐区；再从解析塔（2）底部采出温度较高的123‑135℃贫液通过循环液输送泵（4）与吸收塔1塔底温度较低的15‑35℃富液换热后作为吸收塔（1）的吸收液。
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