[发明专利]一种检测设备及检测方法有效
申请号: | 201310393003.1 | 申请日: | 2013-09-02 |
公开(公告)号: | CN103472601A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 蔡培 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01B11/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及阵列检测技术领域,公开了一种检测设备及检测方法,包括:探针总成Probe Assembly,每一个探针总成上具有用于与被检测器件的检测接触层接触、且加载检测信号的探针Pin;装载所述探针的探针总成载台;采集单元,用于采集所述检测接触层的位置信息;与所述采集单元信号连接的信号处理单元,当所述信号处理单元根据所述采集单元采集的位置信息判断该采集单元对应的探针总成中的探针与对应检测接触层之间对位不准时生成调节信息。上述检测设备在接触检测过程中,探针总成的探针与接触层接触时,每一个探针总成的探针与对应的接触层之间的接触良好,能够很好地完成接触检测,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种检测设备,其特征在于,包括:探针总成Probe Assembly,每一个探针总成上具有用于与被检测器件的检测接触层接触、且加载检测信号的探针Pin;装载所述探针的探针总成载台;采集单元,用于采集所述检测接触层的位置信息;与所述采集单元信号连接的信号处理单元,当所述信号处理单元根据所述采集单元采集的位置信息判断该采集单元对应的探针总成中的探针与对应检测接触层之间对位不准时生成调节信息。
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