[发明专利]响应压力的液态微电子机械系统组件在审
| 申请号： | 201310390589.6 | 申请日： | 2013-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN103663347A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 艾哈迈德礼萨·罗福加兰 | 申请（专利权）人： | 美国博通公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81B7/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及响应压力的液态微电子机械系统组件，其包括板材，通道框架，柔性通道面。液体微滴，以及一个或多个导电元件。所述通道框架在所述板材内，并且匹配于所述柔性通道面，以便在所述板材内形成通道。所述液体微滴被包含在所述通道内。当压力被施加至所述柔性面时，所述液体微滴相对于一个或多个导电元件的形状被改变，从而改变所述液态MEMS组件的操作特性。 | ||
| 搜索关键词： | 响应 压力 液态 微电子 机械 系统 组件 | ||
【主权项】：
一种液态微电子机械系统（MEMS）组件，包括：板材；在所述板材内的通道框架；柔性通道面，与所述通道框架匹配以在所述板材内形成通道；包含在所述通道内的液体微滴；以及靠近所述通道的一个或多个导电元件，其中，当压力被施加至所述柔性通道面时，所述液体微滴的形状相对于所述一个或多个导电元件而改变，从而改变所述液态微电子机械系统组件的操作特性。
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