[发明专利]电气设备的模拟通道参数配置方法及系统有效
| 申请号： | 201310390566.5 | 申请日： | 2013-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN104423283B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 马永超 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 陈振 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电气设备的模拟通道参数配置方法及系统。其中方法包括在半导体制造中电气设备的通道驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；增加对数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中的模拟通道参数进行设置；当数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所述配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；根据所述新数据对半导体制造中电气设备实施控制操作。本发明当电气设备参数更改时，不对驱动文件进行更改，无需再次对驱动文件的源文件进行测试、编译，缩短电气设备参数更改所用时间，提高半导体设备加工的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电气设备 模拟 通道 参数 配置 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种电气设备的模拟通道参数配置方法，所述模拟通道用于与半导体制造中的电气设备进行通信，通过对所述模拟通道进行参数配置，实现对所述电气设备的控制，其特征在于，包括以下步骤：在电气设备的对应驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；所述数据结构包括通道号及通道最大范围；增加对所述数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置，且对模拟通道参数进行设置的预设数据与电气设备的名称对应；所述配置文件中包括对每一模拟通道进行设置的数据，且所述对每一模拟通道进行设置的数据按所述通道号递增的方式顺序排列，每一模拟通道的通道号与对该模拟通道进行设置的配置文件中的数据在配置文件中的位置对应；当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；根据所述新数据对所述电气设备实施控制操作。
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