[发明专利]薄膜缺陷分类方法有效
申请号: | 201310387103.3 | 申请日: | 2013-08-30 |
公开(公告)号: | CN103439338A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 徐明;胡鑫成;邹逸 | 申请(专利权)人: | 无锡金视界科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 江苏英特东华律师事务所 32229 | 代理人: | 邵鋆 |
地址: | 214191 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及到视频图像处理方法,具体为薄膜缺陷分类方法。这种缺陷分类算法包括以下步骤:(1)提取目标区域、(2)消除伪边界、(3)缺陷分类检测。本发明根据缺陷的表面特征来识别、区分不同缺陷类型,实现了缺陷检测与分类过程的自动化。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 缺陷 分类 方法 | ||
【主权项】:
薄膜缺陷分类方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)提取目标区域,利用全局阈值算法提取待检测图像内的目标区域;(2)消除伪边界,通过形态学腐蚀算法与膨胀算法剔除目标区域的伪边界;(3)缺陷分类检测,根据缺陷的灰度与形态特征,利用动态阈值算法结合形态学算法计算缺陷区域的特征参数,以此对缺陷进行分类。
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