[发明专利]激光同步扫描成像微量气体检测方法及系统在审
申请号: | 201310379519.0 | 申请日: | 2013-08-27 |
公开(公告)号: | CN103439060A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 陈力 | 申请(专利权)人: | 南京诺威尔光电系统有限公司 |
主分类号: | G01M3/04 | 分类号: | G01M3/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210038 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种红外热波成像无损检测方法,采用高功率激光束,经光束偏转装置对样品的表面进行快速扫描,同时设置热像仪的图像采集子窗口,使之动态地跟踪激光束的移动。通过热像仪采集的一系列热波图像,每帧图像中各像素的热波信号与热激励之间具有不同的延迟。经过延迟量修正和数值处理的热波图像,可以用于对样品的内部缺陷进行分析。 | ||
搜索关键词: | 激光 同步 扫描 成像 微量 气体 检测 方法 系统 | ||
【主权项】:
一种激光同步扫描成像检测系统,包括:激光器(20),所述激光器(20)输出的激光束(26)的波长处于被探测气体(27)的吸收峰附近;光束偏转装置(22),所述光束偏转装置(22)用于偏转所述激光束(26);激光摄像仪(24),所述激光摄像仪(24)用于检测从被探测气体(27)及背景物体反射回来的部分所述激光束(26)的能量;信号采集处理单元(25),所述信号采集处理单元(25)用于对所述激光摄像仪(24)采集的图像进行处理;扫描控制单元(23),所述扫描控制单元(23)用于控制所述光束偏转装置(22),其特征为,所述光束偏转装置(22)与所述激光摄像仪(24)的帧扫描同步。
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