[发明专利]一种扫描反射镜振动幅度自动调节的调焦调平装置及方法有效
| 申请号： | 201310377315.3 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104423181A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 王兴海;王海江 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/207 | 分类号： | G03F7/207;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种扫描反射镜振动幅度自动调节的调焦调平装置，一光源，用于提供一照明光束，投影光学单元，用于将所述照明光束投射至一工件表面并形成一反射光束；成像光学单元，用于将所述反射光束成像至探测单元，所述成像光学包括一扫描反射镜，用于按一定振幅反射所述工件表面的反射光束；探测单元，用于探测所述反射光束的光强信号；一数据采集单元，用于采集所述光强信号数据；一控制单元，用于根据支撑所述工件的工件台位置数据及所述光强信号数据设定所述扫描反射镜的振幅值；一扫描反射镜幅值调节单元，根据所述振幅值调节所述扫描反射镜的振幅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 反射 振动 幅度 自动 调节 调焦 平装 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描反射镜振动幅度自动调节的调焦调平装置，包括：一光源，用于提供一照明光束，投影光学单元，用于将所述照明光束投射至一工件表面并形成一反射光束；成像光学单元，用于将所述反射光束成像至探测单元，所述成像光学包括一扫描反射镜，用于按一定振幅反射所述工件表面的反射光束；探测单元，用于探测所述反射光束的光强信号；一数据采集单元，用于采集所述光强信号数据；一控制单元，用于根据支撑所述工件的工件台位置数据及所述光强信号数据设定所述扫描反射镜的振幅值；一扫描反射镜幅值调节单元，根据所述振幅值调节所述扫描反射镜的振幅。
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