[发明专利]一种镀膜机坩埚有效
| 申请号： | 201310372062.0 | 申请日： | 2013-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN103409720A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 邹清华;吴泰必 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜机坩埚（1），其特征在于，在所述坩埚（1）内具有导热装置（2），所述导热装置（2）包括一根或多根沿所述坩埚（1）径向设置的径向金属丝或金属条（21），以及一根或多根沿所述坩埚（1）轴向设置的轴向金属丝或金属条（22）。本发明所提供的镀膜机坩埚，新增由金属丝或金属条形成的导热装置，可以更好的传热，使放入坩埚内的有机材料受热温度均匀，达到一个热稳定的状态。并且这种坩埚可以填入较多的材料，提高蒸镀速率，减少开腔填料次数，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 坩埚 | ||
【主权项】：
一种镀膜机坩埚（1），其特征在于，在所述坩埚（1）内具有导热装置（2），所述导热装置（2）包括一根或多根沿所述坩埚（1）径向设置的径向金属丝或金属条（21），以及一根或多根沿所述坩埚（1）轴向设置的轴向金属丝或金属条（22）。
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