[发明专利]一种元器件等离子清洗辅助装置有效
| 申请号： | 201310368695.4 | 申请日： | 2013-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN103433261A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 李波;夏俊生;李寿胜;侯育增;李文才 | 申请（专利权）人： | 华东光电集成器件研究所 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233042 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种元器件等离子清洗辅助装置，边框（2）底部连接丝网（3）作为托盘的盘底，边框（2）中部设置一道隔板（4）将托盘分割成两个区域一个区域内的丝网（3）上涂覆704或705硅胶（3a）。使用时先将双面清洗的元件（4）放在左边区域的丝网（3）上；然后将单面清洗元件（5）放入右边区域的硅胶（3a）上，最后将清洗装置放入等离子清洗机中清洗。本发明的有益效果是：由于丝网漏孔的作用，等离子体可以从各方面轰击元件，大幅提高清洗效率；丝网能疏通分散气流，防止元件被气流吹动、堆积、互相蹭伤。硅胶吸附元器件防止被气流吹动，避免堆积和相互蹭伤；相对于蓝膜或UV膜固定元件，不需要专门的拨膜机和紫外光机，节约清洗成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 元器件 等离子 清洗 辅助 装置 | ||
【主权项】：
一种元器件等离子清洗辅助装置，包括边框（2）和底部支架（1）组成的托盘，其特征在于：边框（2）底部连接丝网（3）作为托盘的盘底。
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