[发明专利]球形粉体材料真空雾化悬浮均匀溅射镀膜方法有效
| 申请号： | 201310355528.6 | 申请日： | 2013-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN103436848A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;张家林;王芸;彭小波;王华文 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 李浩 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了球形粉体材料真空雾化悬浮均匀溅射镀膜方法，将球形粉体置于真空雾化罐中，真空雾化罐内设置有阴极溅射靶材和阳极体，在真空环境下，通过电场或磁场加速的高能粒子撞击阴极溅射靶材表面时，靶材表面的原子分子和高能粒子进行动量交换，从而使靶材原子或者分子从靶材表面飞溅出来，并且具备一定的能量，碰撞到雾化悬浮在真空中的球形粉体，从而实现球形粉体上的薄膜沉积。本发明能生产耐高低温、耐高压、耐潮湿、耐腐蚀、抗氧化等功能的，具有性能优良，满足不同要求的，具有特殊功能的高性能球形粉体材料，以及球形金属粉体的抗氧化表面功能化处理。 | ||
| 搜索关键词： | 球形 材料 真空 雾化 悬浮 均匀 溅射 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
球形粉体材料真空雾化悬浮均匀溅射镀膜方法，其特征在于：将球形粉体（8）置于真空雾化罐中，真空雾化罐内设置有阴极溅射靶材（5）和阳极体（11），在真空环境下，通过电场或磁场加速的高能粒子撞击阴极溅射靶材（5）表面时，靶材表面的原子分子和高能粒子进行动量交换，从而使靶材原子或者分子从靶材表面飞溅出来，并且具备一定的能量，碰撞到雾化悬浮在真空中的球形粉体（8），从而实现球形粉体（8）上的薄膜沉积。
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