[发明专利]一种晶圆测试探针卡管理系统及其使用方法

摘要

本发明提供一种晶圆测试探针卡管理系统及其使用方法，通过分类单元对各探针卡分类；通过状态管理单元实时监控和管理各探针卡的各种状态；通过分发单元对待处理的探针卡进行检查，若待处理的探针卡适合使用，则将所述待处理的探针卡送入晶圆生产线并将所述待处理的探针卡的状态切换至使用状态；若待处理的探针卡不合适使用，则根据所述待处理的探针卡的状态将所述待处理的探针卡送入指定流程并切换所述待处理的探针卡的状态。因而本发明实质上提供了一种从探针卡的建立、使用到使用结束甚至报废过程的管理方案，管理过程中系统自动判断探针卡条件后再开始生产，取代了人工管理方式，避免了人为判断耗时耗力以及容易出错的问题，提高了工业效率。

主权项

一种晶圆测试探针卡管理系统，其特征在于，包括：分类单元，用于按照预定义分类方式对各探针卡分类；状态管理单元，用于监控和管理各探针卡的各种状态；分发单元，用于根据所述分类单元的分类信息以及状态管理单元的状态，检查所述待处理的探针卡是否适合晶圆生产线上使用，若待处理的探针卡适合使用，则将所述待处理的探针卡送入晶圆生产线并将所述待处理的探针卡的状态切换至使用状态；若待处理的探针卡不合适使用，则根据所述待处理的探针卡的状态将所述待处理的探针卡送入指定流程并切换所述待处理的探针卡的状态。